美國派克PARKER高壓水平交叉膜片式閥應用指南
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935A 和 935T 系列為1/2"接口,流量通過閥體連接直徑為2"的鋼管。這個設計可以使垂直單向閥進入橫向氣體分流系統的集成得到了簡化
派克935A和935T系列不銹鋼閥體隔膜閥能夠提供優抗漏能力和氣體容納能力,使它成為高流量高純應用的選擇,
包括半導體加工設備。935A這種類型的閥體可以在一定角度定位手柄以便適應狹窄的空間,而無需費力接觸手柄。935A和935T有一個位置指示器便于操作人員簡單判斷出閥門是否關閉。泄放口選項可以簡化吹掃操作流程。
半圓式膜片與閥體形成了金屬對金屬的密封,與膜片接觸的區域在保持應力狀態下可以進行更大的拉伸行程。
閥體為經過電解拋光處理的Vericlean"316L不銹鋼材質。Vericlean""是派克高純級不銹鋼材質。
閥座可選擇PCTFE(聚三氟氯乙烯)或VespelR(聚酰亞胺樹脂)材質。
935系列閥的內部(閥座)密封及金屬外部密封均采用質譜儀進行氦氣泄漏實驗,以獲得其在高要求的高純應用中有出色穩定的表現。
束縛式膜片設計提供了閥桿正向拉伸的穩定性,935系列閥體內部無彈簧及螺紋。
·過程控制·半導體行業·分析實驗室·制藥業·生物制藥業·航空航天·工業
特點/YS:
·高流量壓應用的選擇·10微英寸(Ra)標準表面光潔度·從真空至300 psig壓力適用·減少雜質生成及氣體的卷入·外部金屬-金屬密封
·束縛式膜片減少了彈簧在液體中的使用,提高了安全性·開/關閥位置指示
·內部泄漏率: ≤4x 10-9 scc/sec He·外部泄漏率: <2x10-10 scc/sec He
·閥座可選擇PCTFE(聚三氟氯乙烯)或Vespel(聚酰亞胺樹脂)材質·兩個接口,多轉式手輪
應用:
·腐蝕性及特殊氣體·氣體分配系統
·大型特殊氣體供應系統(BSGS)
這樣減少了表面積及氣體卷入的可能,而這是管波紋閥門固有的缺陷,這一設計還可以進行更簡便的吹掃及產生更少的雜質。
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