smc平穩(wěn)出氣閥XVD2-02V
保持旋轉(zhuǎn)的初始供氣調(diào)節(jié)螺母r以右側(cè),小可能
初始空氣供給流量是在該點(diǎn)銘牌和調(diào)整
螺母標(biāo)記對(duì)齊接近的地方扭矩感受。 (注意不要
收緊初始空氣供應(yīng)調(diào)節(jié)螺母4進(jìn)一步過(guò)這一點(diǎn)上,
因?yàn)檫@可能會(huì)導(dǎo)致部件損壞。)
確認(rèn)初始空氣供應(yīng)調(diào)節(jié)螺母r的位置之后
和初始空氣供給刻度板!7的角度對(duì)準(zhǔn)刻度,
通過(guò)旋轉(zhuǎn)螺母向左調(diào)整初始空氣供給量。據(jù)
以“轉(zhuǎn)數(shù)和流動(dòng)特性”作為
示出,設(shè)置初始空氣供給流動(dòng)。通過(guò)擰緊設(shè)置,鎖定后
初始空氣供給鎖螺絲!50.5 N·cm的扭矩。
閥門(mén)/針型閥集成建設(shè) - 需要以
前只有1/4的管道空間模型。
通過(guò)切換到主閥電路,主閥門(mén)
打開(kāi),全量被引入到室中。
用平頭螺絲刀輕輕轉(zhuǎn)動(dòng)初始供氣鎖
螺絲!5要左側(cè),放松它,直到它停止。
顆粒顯著減少通過(guò)使用一個(gè)金屬膜片的板部分
雙方初的送風(fēng)氣流和主供氣能進(jìn)行調(diào)整。
返回時(shí),引入一次性全部供給壓力
(清潔的空氣/ N2)的全部金額
在真空室中的氣氛會(huì)引起微粒就可以進(jìn)入
室。為了防止這種情況,以后慢慢
引入的初始空氣供給和設(shè)置
的壓力,切換到主閥回路供給的全部金額。
在初始狀態(tài)下,所述子閥打開(kāi)和設(shè)
置金額(針閥)緩慢供給入腔室。
通過(guò)在片材部分使用金屬膜片的微粒顯著降
的兩個(gè)初始空氣供應(yīng)和主空氣供給量可以調(diào)節(jié)。
省空間閥門(mén)/針型閥集成建設(shè) - 要求
只有1/4的管道空間以前的型號(hào)。
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